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电弧石英坩埚
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电弧石英坩埚

详细信息

用电弧法生产的乳白石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成 电路不可少的基础材料。它具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、 保温性好、节约能源、质量稳定等优点。我公司还可以生产各种尺寸 的透明和半透明材质的石英坩埚。这些产品可以根据应用范围按标准 规格生产,也可以按您要求定做非标准规格的坩埚。

化学成分(ppm):

型号 Al Fe Ca Cu K Na Li B OH
JH-A 20 1 1.5 0.1 3 3 3 0.3 30
JH-B 15 0.3 0.6 0.5 0.7 1.0 0.7 <0.1 30
合成石英砂 <200 <70 <80 <10 <10 <20 <10 <10 <50
电子级
IOTA-6
8.1 0.2 0.7 <0.01 0.1 <0.2 0.2 - -

尺寸(mm):

坩埚尺寸 外径 高度 厚度(WT) R r
T1 T2 T3
8" 203±3 153±3 5.5±1.5 5.5±1.5 5.5±1.5 305 60
10" 254±3 178±3 6.0±1.5 6.0±1.5 6.0±1.5 305 70
12" 305±3 228±3 6.5±1.5 6.5±1.5 6.5±1.5 305 80
14" 355±3 254±3 7.5±1.5 7.5±1.5 7.5±1.5 400 90
16" 404±3 280±3 8.5±1.5 8.5±1.5 8.5±1.5 400 90
18" 457±3 320±3 8.5±1.5 8.5±1.5 8.5±1.5 500 120
20" 508±4 381±3 10±3 10±3 10±3 510 90
22" 558±4.5 381±3 11±3 11±3 11±3 558 130
24" 607±4.5 435±4 12±2.5 12±2.5 12±2.5 610 125
28" 710±4.5 516±4 13±5.5 13±5.5 13±5.5 710 120
32" 809±5 500±4 16.5±5.5 16.5±5.5 16.5±5.5 813 160
36" 910±5.5 500±4 16±6 16±6 16±6 914 180

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